GEMStar XT-P：

* 大8英寸/200mm基片沉積（4'和6 '可選）

* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶和CF-40接口

* 裝備高性能ICP等離子發(fā)生器

  13.56 MHz 的等離子源非常緊湊，只需風冷， 高運行功率達300W。

* 標配3組氣流質量控制計（MFC）控制的等離子氣源線，和一條MFC控制的運載氣體線，使難以沉積的氧化物、氮化物、金屬也可以實現(xiàn)均勻沉積。

* 大100 mm 立方體樣品 沉積

* 單路前驅體輸運支管， 2路前驅體瓶接口

* 主要用于3D多孔材料，以及厚樣品的沉積

多樣品托盤：

* 多樣品夾具，樣品尺寸（8", 6", 4"）向下兼容。

* 多基片夾具，多同時容納9片基片。

溫控熱托盤：

* 可加熱樣品托盤， 高溫度500℃，可實現(xiàn)熱盤-熱壁復合加熱方式。

粉末沉積盤：

臭氧發(fā)生器：

粉末旋轉沉積罐模塊：

配合熱壁加熱方式，進一步實現(xiàn)對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。 

手套箱接口： 

可從側面或背面wan美接入手套箱，與從底部接入手套箱不同，不占用手套箱空間。由于主機在手套箱側面，反應過程中不對手套箱有加熱效應，不影響手套箱內溫度。